方法 | 參考標準 | 優點 | 缺點 | 適用范圍 |
光度計掃描法-PAO法 | GB50591-2010 ISO14644-3 | 1、簡單易學，判斷標準0.01%易懂， 2、對背景環境的要求沒有計數器法高，瞬時讀數。 | 1、發塵量大，對過濾器有一點污染 2、過濾器安裝需要留有檢漏口，適用于新建廠房 | 適合與HEPA,不適合ULPA 光度計，只能針對油類氣溶膠 |
大氣塵檢漏法（粒子計數器法） | GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規范 | 不需要人為發塵，對過濾器幾乎沒有污染。 | 對背景要求高，環境潔凈度對檢漏結果有影響 | 氣溶膠對產品有污染的地方，如特定電子廠。 |
粒子計數掃描法 | ISO14644-3潔凈室及相關受控環境 | 發塵量，污染少。可直接顯示顆粒粒徑。漏點值表達明確。 | 新方法；對背景環境有要求高；操作難度規范性高。 | 適用于HEPA及ULPA 適用于油類/固體類氣溶膠 |
高效過濾器檢漏計數法
高效過濾器PAO檢漏
微生物實驗室高效過濾器檢漏（計數法/PAO法）
潔凈室高效過濾器檢漏（計數法/PAO法）
微生物實驗室/潔凈室高效過濾器第三方機構檢漏（計數法/PAO法）
微生物實驗室/潔凈室綜合性能（計數法/PAO法）
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微生物實驗室/潔凈室/高效過濾器完整性/測試（計數法/PAO法）
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